荷兰的ASL公司能够生产7纳米及以下先进制程的EUV光刻机，而ASL公司的EUV光刻机，不仅价格高达1.5亿美元一台，而且还受到美国的技术限制，无法向我国出口。我国虽然已经能够生产用于28纳米及以上制程的dUV光刻机，但在技术性能上，与ASL的dUV光刻机还有很大差距，更不用说EUV光刻机了。”
荷兰的ASL公司能够生产7纳米及以下先进制程的EUV光刻机，而ASL公司的EUV光刻机，不仅价格高达1.5亿美元一台，而且还受到美国的技术限制，无法向我国出口。我国虽然已经能够生产用于28纳米及以上制程的dUV光刻机，但在技术性能上，与ASL的dUV光刻机还有很大差距，更不用说EUV光刻机了。”