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第328章 BG-102分步投影光刻机(1 / 2)

接下来这一个月的星期里。

每天都有玩家国度直营店的员工被抓,前段销售是最容易出现问题的,这些人以为自己做得天衣无缝,实际上唐冰兰早就请私家侦探去调查了。

玩家国度商贸抓了6个人,企鹅科技抓了5个人,电子厂也是抓了2个。

这一次的反贪腐行动一共花了沈浪两千多万的软妹币。

或许有人觉得花那么多钱去搞反贪腐很不值,正所谓是千里之堤,溃于蚁穴。

你不抓公司将来就很有可能因为这些蛀虫导致公司倒闭。

对于所有人来说这件事情发生得实在是太突然了,这一次的反贪腐行动倒是打了所有人一个措手不及,那些没有被查到的现在心里都还在颤颤发抖。

...

2001年3月27日。

盘古科技10楼。

光刻机研究中心。

沈浪在倪光南和一名老者陪同下来到了观察室,透过玻璃窗可以看到一群五六十岁老者,带着一群年轻人正在组装高两米米、长三米、宽两米的巨型怪兽。

这群老者有人来自魔都光学机械厂、有人来自机电部45所、还有人来自长春光电所。

倪光南为了将这些人召集到一起可是花费了不少的心思和人脉。

与两人同行的钟振华介绍道:“沈总,您眼前的这台光刻机,是我们基于机电部45所的BG-101分步投影光刻机改进研发的BG-102机型。

虽然我们有一定的技术储备,但是我们技术落后国际太多,所以我们只能一步步来,慢慢将技术迭代到跟国际同步。

我们预计会在年底对BG-102进行升级,升级后BG-103可以生产0.35微米的芯片,预计会在明年升级到BG-104,BG-104可以生产0.13微米的芯片。

我们预计会在100纳米这个位置出现瓶颈,100纳米以下对精度要求非常高,100纳米以下与100纳米以上,两者可以说是一个天一个地的存在,除此以外100纳米以下对光源有了新的要求。

目前我们所采用的光源是248KrF准分子激光,想要生产100纳米以下的芯片,就要使用193ArF准分子激光,目前我们的团队正在研究这项技术。

运气好下个月我们就能将它研发出来,运气不好可能需要个三五年时间,研发有时候就是灵光一闪的事情。”

说到这里的时候钟振华也是露出一丝苦笑,因为运气对于研发来说也是十分重要的,因为实验过程中会有很多不确定性,说句难听点研发都是在碰运气,听起来有些玄幻但是事实就是如此的。

钟振华继续介绍道:“100纳米以下除了光源需要改变以外,透镜和电机方面也需要进行更新,这两者对精度要求更高了,透镜量不大张师傅倒是可以手搓出来,量大的话还需要培养更多的人才才行。

至于电机我们会跟国内电机厂商进行合作研发,不过想要在短期内达到要求非常困难,快的两三年慢则需要三五年时间。”

“钟工,说真的你们的研发进度已经超出我的预期,我原本以为你们还需要八到十年的时间,才能让我们赶上国际上的第二梯队,没想到你们能够在五年内赶上第二梯队。

让大家慢慢来不要着急,我相信我们迟早超越国外的,钱的事情你们不用担心,另外光源方面我有点建议。”沈浪说到这里露出一个微笑。

钟振华直言道:“沈总,您说。”

在他看来有建议是好事,说不定这个建议真的有用,更何况沈浪还是他们老板,就算沈浪建议没有用,他怎么的也得听一听吧。

沈浪微笑道:“我在国外的时候曾经听过一个老教授说,ArF准分子激光并不是最理想光源,他说用掺镱钇铝石榴石晶体生成1030激光。

经波长转换输出193光束,体积缩小90%、能耗降低30%-50%,还可以彻底摆脱传统氟化氙气体依赖。

关于这个问题我也去咨询过一些相关专家,理论上这个思考是没有任何问题的,只是没有人愿意投入资金去研发而已,我觉得你们分出一个研发小组,尝试一下是否能够通过这个方向研发出新的光源。

另外我听说美利坚在1997年,就已经组建了EUVLLC联盟,我觉得我们可以同步研发EUV技术,EUV研发可以让国内各大高校参与进来。”

钟振华叹了口气说道:“沈总,其实我们也想过去研发EUV,只是目前没有合适人才领头,等找到合适人才我们会同步研发EUV的,我们在光刻机方面人才实在是太少了。”

沈浪露出一个微笑不急不慢的说道:“钟工,我们可以先拿出一部分资金出来,让这里面就有合适的人才,研发上面我们一定不能等,一等我们就会落后别人。

说句难听我们要是在研发的时候,说不定我们在摸索中有研

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