报告全文(2 / 3)

集团,立即成立专项小组,拟定一份动态更新的《关键技术及设备需求清单》。清单应聚焦当前“巴统”严格禁运、且我急需突破的领域,例如:

    1.半导体材料制备与提纯设备:

    区熔提纯炉:用于制备超高纯度(要求达到99.9999%以上)的单晶锗、单晶硅锭,此为制造高性能晶体管及探索硅基集成电路的基础。

    单晶炉(切克劳斯基法):用于控制生长大尺寸、低缺陷的单晶硅棒,是未来半导体工业的核心。

    高精度半导体材料参数测试仪:包括电阻率、载流子寿命等关键参数的测量设备。

    2.晶圆制备与光刻核心设备:

    精密晶圆切片机与研磨机:用于将单晶锭精确切割为薄片(晶圆),并完成表面研磨抛光。

    步进重复照相机:用于制作光刻掩模版,是将电路设计图形转移到晶圆上的关键,要求图形缩微精度达到微米级。

    接触式/接近式光刻机:早期光刻的核心设备,用于将掩模版上的电路图形曝光至涂有光刻胶的晶圆上。

    精密掩模版制造设备:包括高精度图形发生器和掩模镀铬、刻蚀设备。

    3.薄膜沉积与掺杂工艺设备:

    真空镀膜设备:用于在晶圆表面蒸发沉积铝膜,以形成晶体管电极和互联线路。

    气相沉积炉:用于外延生长等工艺,在衬底上生长单晶薄膜。

    扩散炉:用于对半导体材料进行定域掺杂,以形成PN结,要求温度控制精确至±0.5摄氏度。

    4.精密封装与测试设备:

    金丝球焊机:用于将晶体管芯与管脚用极细金丝连接。

    晶体管自动参数测试分选仪:可对大量晶体管进行快速、自动化的性能测试与分类,大幅提升生产效率与产品一致性。

    5.配套精密仪器与基础工业装备:

    高倍率金相显微镜与扫描电子显微镜:用于观测晶体管结构缺陷与线路图形。

    超纯水与高纯度化学试剂生产线:半导体制造过程中清洗与蚀刻所必需。

    高精度恒温恒湿车间建设技术与相关控制系统。

    (三)操作实施建议

    1.分级清单:将上述设备分为核心必备与优先争取两类,在谈判中把握弹性。

    2.技术捆绑:要求设备出口必须附带基础的操作规程、维护手册及初步技术培训。

    3.秘密渠道:此部分谈判须在严格保密状态下进行,以“旧设备淘汰”、“二手生产线”等名义,通过第三方或特殊渠道执行,相关协议以秘密备忘录形式签署。

    4.价值评估:成立由技术专家和外贸专员组成的联合评估组,负责对对方提供的设备与技术进行准确的价值与技术等级评估。

    (四)最终目标

    通过此交换,我之目标并非简单获得一两台计算机之利润,而是旨在系统性获得一条与国际水平接轨的、可自主维系的晶体管及早期集成电路

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